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我国首台!华工科技高端晶圆激光切割设备问世:核心100%国产

类别:公司动态   发布时间:2024-10-29 19:06:24   浏览:

  我国首台!华工科技高端晶圆激光切割设备问世:核心100%国产五金快科技7月11日消息,随着科技的快速发展,激光技术的应用边界不断拓展,尤其在高端制造领域,作为加工工具,激光对于确保半导体芯片的性能起着重要作用。

  近日,“中国激光第一股”华工科技有了新的突破,据“中国光谷”微信公众号消息,华工科技近期制造出我国首台核心部件100%国产化的高端晶圆激光切割设备。

我国首台!华工科技高端晶圆激光切割设备问世:核心100%国产(图1)

  据华工激光半导体产品总监黄伟介绍,晶圆机械切割的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米左右,经一年努力,华工科技半导体晶圆切割技术成功实现升级,热影响降为0,崩边尺寸降至5微米以内,切割线微米以内。

  据了解,晶圆是芯片的母体,其切割和分离的精度将影响芯片性能和成本,传统的机械切割或激光切割会产生热影响和崩边,从而降低芯片质量。

我国首台!华工科技高端晶圆激光切割设备问世:核心100%国产(图2)

  资料显示,华工科技成立于1999年,拥有20000多平米的研发、中试基地,在海外设有3个研发中心,与华中科技大学共建有激光加工国家工程研究中心、国家防伪工程研究中心、敏感陶瓷国家重点实验室。

  通过产学研用纽带,华工科技牵头制定国家“863”计划项目、国家科技支撑计划项目、十三五国家重大科技计划专项等50余项,牵头制定中国激光行业首个国际标准,获得国家科技进步奖3项。